发明名称 VERFAHREN ZUR KENNZEICHNUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN,INSBESONDERE AUS SILIZIUM
摘要
申请公布号 DD147171(A1) 申请公布日期 1981.03.18
申请号 DD19790216396 申请日期 1979.10.23
申请人 RIEPEL,GEORG,DD;PENNDORF,JUERGEN,DD;TOEPFER,BARBARA,DD;DOEPPNER,MONIKA,DD;FECHNER,MONIKA,DD 发明人 RIEPEL,GEORG,DD;PENNDORF,JUERGEN,DD;TOEPFER,BARBARA,DD;DOEPPNER,MONIKA,DD;FECHNER,MONIKA,DD
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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