| 发明名称 |
TESTER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5627668(A) |
申请公布日期 |
1981.03.18 |
| 申请号 |
JP19790104235 |
申请日期 |
1979.08.15 |
| 申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
YAMAGUCHI TAKASHI;SUZUKI KOUICHI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/00;G01R31/02;G01R31/28;G01R31/316;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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