发明名称 PHOTOLITHOGRAPHIC MASKS AND METHODS FOR THEIR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 CA904686(A) 申请公布日期 1972.07.11
申请号 CAD904686 申请日期
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 GEORGE R. CASHAU;JAMES W. GEORGE
分类号 C23C14/02;C23F1/02;(IPC1-7):C23C14/02 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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