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发明名称 INRICHTING VOOR HET ONDERZOEKEN VAN HALFGELEIDER- INRICHTINGEN EN WERKWIJZE VOOR DE VERVAARDIGING VAN ZULK EEN ONDERZOEKINRICHTING.
摘要
申请公布号 NL166548(B) 申请公布日期 1981.03.16
申请号 NL19700001944 申请日期 1970.02.11
申请人 TIECO, INC., MOUNTAIN VIEW, CALIFORNIE, VER. ST. V. AM. 发明人
分类号 G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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