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发明名称
FLUESSIGPHASEN-EPITAXIEVERFAHREN NACH DER SCHIEBETECHNIK
摘要
申请公布号
DD147020(A1)
申请公布日期
1981.03.11
申请号
DD19790216871
申请日期
1979.11.14
申请人
WEISS,HELMUT,DD;MEISTER,HELGA,DD
发明人
WEISS,HELMUT,DD;MEISTER,HELGA,DD
分类号
H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
地址
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