发明名称 FLUESSIGPHASEN-EPITAXIEVERFAHREN NACH DER SCHIEBETECHNIK
摘要
申请公布号 DD147020(A1) 申请公布日期 1981.03.11
申请号 DD19790216871 申请日期 1979.11.14
申请人 WEISS,HELMUT,DD;MEISTER,HELGA,DD 发明人 WEISS,HELMUT,DD;MEISTER,HELGA,DD
分类号 H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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