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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5624148(U)
申请公布日期
1981.03.04
申请号
JP19790105273U
申请日期
1979.08.01
申请人
发明人
分类号
H01L29/78;H01L21/205;H01L21/318;H01L21/86;H01L29/94;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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