| 发明名称 |
DEVICE FOR MAKING SEMICONDUCTING MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SU810086(A3) |
申请公布日期 |
1981.02.28 |
| 申请号 |
SU19782667252 |
申请日期 |
1978.09.29 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
RUKHA ULRIKH;BAROVSKI GERKHARD |
| 分类号 |
C30B25/00;C01B33/02;C23C16/52;C30B25/16;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C01B33/02 |
主分类号 |
C30B25/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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