发明名称 DEVICE FOR INFRARED INSPECTION OF INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 SU808870(A1) 申请公布日期 1981.02.28
申请号 SU19792772333 申请日期 1979.05.31
申请人 ULITENKO VALENTIN P,SU;KOROVIN REMIR V,SU 发明人 ULITENKO VALENTIN P,SU;KOROVIN REMIR V,SU
分类号 G01J5/28;(IPC1-7):G01J5/28 主分类号 G01J5/28
代理机构 代理人
主权项
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