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发明名称
DEVICE FOR INFRARED INSPECTION OF INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号
SU808870(A1)
申请公布日期
1981.02.28
申请号
SU19792772333
申请日期
1979.05.31
申请人
ULITENKO VALENTIN P,SU;KOROVIN REMIR V,SU
发明人
ULITENKO VALENTIN P,SU;KOROVIN REMIR V,SU
分类号
G01J5/28;(IPC1-7):G01J5/28
主分类号
G01J5/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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