| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING MAGNETIC FILM ON SUBSTRATE BY SPUTTERING MAGNETIC SUBTANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5621308(A) |
申请公布日期 |
1981.02.27 |
| 申请号 |
JP19800101049 |
申请日期 |
1980.07.23 |
| 申请人 |
SPIN PHYSICS INC |
发明人 |
BENJIYAMIN BURUUSU METSUKERU;EMIRII AIRIIN BUROMUREI |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/34;C23C14/35;G11B5/85;G11B5/851;H01F41/18;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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