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发明名称 TEMPERATURE MODULATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5621044(A) 申请公布日期 1981.02.27
申请号 JP19790097660 申请日期 1979.07.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KITAHARA KUNINORI
分类号 G01R31/26;G01N25/00;G01N27/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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