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发明名称 MECHANICALLY SCANNING DEVICE FOR WAFER TREATMENT
摘要
申请公布号 JPS5621318(A) 申请公布日期 1981.02.27
申请号 JP19790096154 申请日期 1979.07.30
申请人 ULVAC CORP 发明人 MORONUKI YOSHIO;SAITOU HIROYUKI
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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