| 发明名称 |
PROCEDE DE GRAVURE PAR PLASMA POUR PELLICULES A BASE D'ALUMINIUM |
| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE GRAVURE PAR PLASMA POUR PELLICULES A BASE D'ALUMINIUM.</P><P>LE PROCEDE CONSISTE A PLACER UNE PIECE 26 COMPORTANT UNE PELLICULE A BASE D'ALUMINIUM OFFRANT UNE PARTIE EXPOSEE SUR UNE CATHODE 5 DISPOSEE EN FACE D'UNE ANODE 4. UN GAZ GENERATEUR DE PLASMA CONSTITUE DE TETRACHLORURE DE CARBONE ET DE CHLORE EST INTRODUIT ENTRE LA CATHODE ET L'ANODE A UNE PRESSION DE 0,1MM DE MERCURE OU MOINS. LE RAPPORT DE LA PRESSION PARTIELLE DU CHLORE A LA PRESSION TOTALE DU GAZ GENERATEUR DE PLASMA EST DE 0,8 OU MOINS. ENSUITE ON APPLIQUE UNE PUISSANCE ELECTRIQUE DE HAUTE FREQUENCE ENTRE LA CATHODE ET L'ANODE AFIN DE PRODUIRE UN PLASMA A PARTIR DU GAZ GENERATEUR DE PLASMA. LA PARTIE EXPOSEE DE LA PELLICULE A BASE D'ALUMINIUM EST GRAVEE PAR LE PLASMA AINSI PRODUIT.</P><P>LE PROCEDE DE L'INVENTION PERMET DE TRAITER DES PELLICULES A BASE D'ALUMINIUM DESTINEES A LA FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES ET SUPPRIME LE RETARD DEMARRAGE DE LA GRAVURE, AINSI QUE LA GRAVURE LATERALE ET LE GONFLEMENT DU REVETEMENT PROTECTEUR.</P>
|
| 申请公布号 |
FR2463976(A1) |
申请公布日期 |
1981.02.27 |
| 申请号 |
FR19800018069 |
申请日期 |
1980.08.18 |
| 申请人 |
TOKUDA SEISAKUSYO LTD |
发明人 |
TETUO KURISAKI, YASUHIRO HORIIKE ET TAKASHI YAMAZAKI;HORIIKE YASUHIRO;YAMAZAKI TAKASHI |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/30;H01L21/70;H05H1/18 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
