发明名称
摘要
申请公布号 JPS569018(B2) 申请公布日期 1981.02.26
申请号 JP19730091990 申请日期 1973.08.15
申请人 发明人
分类号 H01L47/02;H01L21/60;H01L23/12;H01L23/48;H01L29/864;H01L47/00 主分类号 H01L47/02
代理机构 代理人
主权项
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