发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERELEMENTS MIT EINEM VIERSCHICHT- PNPN-AUFBAU |
摘要 |
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申请公布号 |
DE3029655(A1) |
申请公布日期 |
1981.02.26 |
申请号 |
DE19803029655 |
申请日期 |
1980.08.05 |
申请人 |
MITSUBISHI DENKI,K.K. |
发明人 |
YAMANAKA,KENICHI;MIHASHI,YUTAKA;SOGO,TOSHIO |
分类号 |
H01L35/00;H01L21/265;H01L21/322;H01L21/324;H01L29/32;H01L29/66;H01L29/74;(IPC1-7):H01L21/324;H01L31/18;G01K7/00 |
主分类号 |
H01L35/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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