发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERELEMENTS MIT EINEM VIERSCHICHT- PNPN-AUFBAU
摘要
申请公布号 DE3029655(A1) 申请公布日期 1981.02.26
申请号 DE19803029655 申请日期 1980.08.05
申请人 MITSUBISHI DENKI,K.K. 发明人 YAMANAKA,KENICHI;MIHASHI,YUTAKA;SOGO,TOSHIO
分类号 H01L35/00;H01L21/265;H01L21/322;H01L21/324;H01L29/32;H01L29/66;H01L29/74;(IPC1-7):H01L21/324;H01L31/18;G01K7/00 主分类号 H01L35/00
代理机构 代理人
主权项
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