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发明名称 FORMING PATTERNED FILMS
摘要
申请公布号 GB1585299(A) 申请公布日期 1981.02.25
申请号 GB19770050996 申请日期 1977.12.07
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 C23F4/00;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G03C5/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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