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经营范围
发明名称
Tilting planar beam probes
摘要
申请公布号
GB2055243(A)
申请公布日期
1981.02.25
申请号
GB19790026814
申请日期
1979.08.01
申请人
ZEISS JENA VEB CARL
发明人
分类号
H01J37/147;H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/30
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
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