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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5619057(U) 申请公布日期 1981.02.19
申请号 JP19790101363U 申请日期 1979.07.24
申请人 发明人
分类号 F23Q3/00;H01L29/74;H01L29/861;(IPC1-7):H01L29/74;H01L29/90 主分类号 F23Q3/00
代理机构 代理人
主权项
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