发明名称 |
RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION |
摘要 |
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申请公布号 |
GB1584912(A) |
申请公布日期 |
1981.02.18 |
申请号 |
GB19780006018 |
申请日期 |
1978.02.15 |
申请人 |
HITACHI LTD;NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE PUBLIC CORP |
发明人 |
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分类号 |
G03C1/00;C08G59/00;C08G59/34;C08G59/40;C08K5/00;C08L47/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08L63/08 |
主分类号 |
G03C1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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