发明名称 RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION
摘要
申请公布号 GB1584912(A) 申请公布日期 1981.02.18
申请号 GB19780006018 申请日期 1978.02.15
申请人 HITACHI LTD;NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE PUBLIC CORP 发明人
分类号 G03C1/00;C08G59/00;C08G59/34;C08G59/40;C08K5/00;C08L47/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08L63/08 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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