Piezo-resistive probe.

摘要

Der Erfindung leigt die Aufgabe zugrunde, eine piezoresistive Sonde zur Messung von mechanischen Spannungen anzugeben, die möglichst unempfindlich ist gegen äußere Störeinflüsse und bei der sich die Temperaturabhängigkeit geeignet kompensieren läßt. Erfindungsgemäß wird die piezoresistive Sonde (1) in einer Integrierten Schaltung in ein Halbleiterchip so angebracht, daß im gleichen Halbleiterchip ein zugehöriger Verstärker integriert ist. Anwendung bei Drucksensoren und Beschleunigungssensoren sowie Kraftsensoren in Form von Integrierten Schaltungen.