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POLIERMITTEL FUER A HOCH III B HOCH V-HALBLEITERSUBSTRATE UND DESSEN HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号
DD146669(A1)
申请公布日期
1981.02.18
申请号
DD19790216305
申请日期
1979.10.18
申请人
RICHTER,HANS,DD;ZACH,DIETRICH,DD
发明人
RICHTER,HANS,DD;ZACH,DIETRICH,DD
分类号
C09G1/00;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
C09G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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