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发明名称 FORMATION OF PATTERN
摘要
申请公布号 JPS5615045(A) 申请公布日期 1981.02.13
申请号 JP19790091240 申请日期 1979.07.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 DENDA MASAHIKO;ABE HARUHIKO;YAMAZAKI TERUHIKO;KATOU TADAO;NOMOTO SUMIO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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