发明名称 MANUACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5615076(A) 申请公布日期 1981.02.13
申请号 JP19790092067 申请日期 1979.07.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YONEDA TADANAKA;FUJII EIZOU
分类号 H01L29/762;H01L21/339;H01L21/8234;(IPC1-7):01L29/76 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
主权项
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