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摘要
申请公布号
DE2357230(B2)
申请公布日期
1981.02.12
申请号
DE19732357230
申请日期
1973.11.16
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y. (V.ST.A.)
发明人
SCHEEL, HANS-JOERG, KILCHBERG (SCHWEIZ)
分类号
H01L47/02;C30B19/00;C30B19/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/06
主分类号
H01L47/02
代理机构
代理人
主权项
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