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经营范围
发明名称
ION IMPLANTATION APPARATUS
摘要
申请公布号
GB1584224(A)
申请公布日期
1981.02.11
申请号
GB19780013696
申请日期
1978.04.07
申请人
IBM CORP
发明人
分类号
H01J37/02;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/31
主分类号
H01J37/02
代理机构
代理人
主权项
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