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发明名称 DIRECT FORMATION OF THIN FILM PATTERN
摘要
申请公布号 JPS5565428(A) 申请公布日期 1980.05.16
申请号 JP19780137837 申请日期 1978.11.10
申请人 TDK ELECTRONICS CO LTD 发明人 KUROIWA AKIHIKO;MATSUZAKI MIKIO
分类号 H01L21/268;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
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