发明名称 PLASMAAETZER
摘要
申请公布号 DE3029124(A1) 申请公布日期 1981.02.05
申请号 DE19803029124 申请日期 1980.07.31
申请人 HITACHI,LTD. 发明人 MIZUTANI,TATSUMI;KANAI,NORIO;HARADA,KUNIO;KOMATSU,HIDEO;IIDA,SHINYA
分类号 B23K10/00;C30B33/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3215;(IPC1-7):B23P1/06;B23K28/00 主分类号 B23K10/00
代理机构 代理人
主权项
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