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发明名称 HOTTCATHODE IONIZATION VACUUM GAUGE
摘要
申请公布号 JPS5611332(A) 申请公布日期 1981.02.04
申请号 JP19790085887 申请日期 1979.07.09
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SUKENOBU SATORU
分类号 G01L21/32 主分类号 G01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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