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发明名称 VERFAHREN ZUM REAKTIVEN AUFSTAEUBEN DIELEKTRISCHER SCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD146306(A1) 申请公布日期 1981.02.04
申请号 DD19790215943 申请日期 1979.10.02
申请人 BEISTER,GUENTHER,DD;SCHNEIDER,SIEGFRIED,DD;BUEDKE,EKKEHARD,DD;NEDON,WOLFGANG,DD;ROTH,HERBERT,DD;SIEBER,WOLFGANG,DD;VETTERS,PETER,DD 发明人 BEISTER,GUENTHER,DD;SCHNEIDER,SIEGFRIED,DD;BUEDKE,EKKEHARD,DD;NEDON,WOLFGANG,DD;ROTH,HERBERT,DD;SIEBER,WOLFGANG,DD;VETTERS,PETER,DD
分类号 C23C14/00;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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