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发明名称 ION GENERATOR
摘要
申请公布号 JPS569956(A) 申请公布日期 1981.01.31
申请号 JP19800082979 申请日期 1980.06.20
申请人 IBM 发明人 JII BUI CHIYANDORASHIEEKAA;PURABUIIN CHIYAUDARI;JIEROOMU JIYON KUOMO;RICHIYAADO JIYOSEFU GIYANBINO;JIEEMUZU MATSUKERU EDOUIN HAAP
分类号 B23K15/00;H01J3/04;H01J27/02;H01J27/20;H01J37/08;H01L21/265;H01L27/00 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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