PROCEDE ET APPAREIL D'HYDROGENATION DE DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEURS

摘要

L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE DE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEURS AINSI QU'UN APPAREIL POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE.LE TRAITEMENT CONSISTE A CREER UN PLASMA D'HYDROGENE AU MOYEN D'UN SYSTEME APTE A ELOIGNER DU DISPOSITIF TRAITE LES PARTICULES DE PLASMA POLARISEES POSITIVEMENT, UN TEL SYSTEME POUVANT ETRE UN SYSTEME CAPACITIF PRESENTANT DEUX ELECTRODES PLANES ET PARALLELES POLARISEES DE FACON A CONSTITUER UNE ANODE ET UNE CATHODE, LE DISPOSITIF A SEMI-CONDUCTEUR ETANT ALORS DISPOSE ENTRE LES ELECTRODES, AU NIVEAU DE L'ANODE ET, DE PREFERENCE CHAUFFE PENDANT LA CREATION DU PLASMA.APPLICATION A LA SUPPRESSION DES DEFAUTS PRESENTES PAR LES DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEURS.