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摘要
申请公布号 DE2414817(C3) 申请公布日期 1981.01.29
申请号 DE19742414817 申请日期 1974.03.27
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN 发明人 GUECKEL, HELMUT, DIPL.-PHYS., 8014 NEUBIBERG;MUELLER, DIETER, ING.(GRAD.), 8000 MUENCHEN
分类号 C30B31/16;C30B33/00;H01L21/00;(IPC1-7):C30B31/10;C30B35/00 主分类号 C30B31/16
代理机构 代理人
主权项
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