发明名称
摘要
申请公布号 JPS563667(B2) 申请公布日期 1981.01.26
申请号 JP19780146281 申请日期 1978.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/50;H01L21/58 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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