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发明名称 ORIENTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS566447(A) 申请公布日期 1981.01.23
申请号 JP19800050529 申请日期 1980.04.18
申请人 IBM 发明人 HIYUUGO ARUBAATO EMIRIO SANTEI;DEEBITSUDO POORU UITSUKU
分类号 B65G51/03;B65G49/07;G03F9/00;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B65G51/03
代理机构 代理人
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