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发明名称 METHOD FOR EXPOSURE OF EVAPORATED PHOTORESIST
摘要
申请公布号 BG42317(A1) 申请公布日期 1987.11.14
申请号 BG19860075738 申请日期 1986.07.15
申请人 MEDNIKAROV,BORISLAV D.;DANEV,GENCHO V.;SPASOVA,ERINCHE M.;GRNCHAROV,KAMEN JJ. 发明人 MEDNIKAROV,BORISLAV D.;DANEV,GENCHO V.;SPASOVA,ERINCHE M.;GRNCHAROV,KAMEN JJ.
分类号 G03B27/02;G03C1/72;G03F7/22;G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/22 主分类号 G03B27/02
代理机构 代理人
主权项
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