发明名称 FILM CARRIER PACKAGE
摘要
申请公布号 JPS6352431(A) 申请公布日期 1988.03.05
申请号 JP19860195463 申请日期 1986.08.22
申请人 HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD;HITACHI LTD 发明人 ICHIHARA SEIICHI;WAKASHIMA YOSHIAKI;MIYAMOTO KEIJI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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