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发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR STEUERUNG DER PLASMAGESTUETZTEN SUBSTRATBEARBEITUNG
摘要
申请公布号 DD263543(A1) 申请公布日期 1989.01.04
申请号 DD19870306256 申请日期 1987.08.24
申请人 VEB ELEKTROMAT DRESDEN,DD 发明人 FROMM,BURCKHARDT,DD;MOELLER,RAINER,DD;ALBERT,MATTHIAS,DD;SCHADE,KLAUS,DD;SUCHANECK,GUNNAR,DD
分类号 C23C14/54;C23C16/52;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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