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发明名称 THIN FILM TRANSISTOR FORMED ON INSULATING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0197531(A3) 申请公布日期 1989.06.14
申请号 EP19860104695 申请日期 1986.04.07
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 MIMURA, AKIO;HOSOKAWA, YOSHIKAZU;SUZUKI, TAKAYA;AOYAMA, TAKASHI;KONISHI, NOBUTAKE;MISAWA, YUTAKA;MIYATA, KENJI
分类号 H01L21/336;H01L29/45;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/54;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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