发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GEGENSEITIG ISOLIERTEN INSELN AUS MONOKRISTALLINEM SILIZIUM.
摘要
申请公布号 DE3576430(D1) 申请公布日期 1990.04.12
申请号 DE19853576430 申请日期 1985.10.01
申请人 HAOND, MICHEL;COLINGE, JEAN-PIERRE, MEYLAN, FR;BENSAHEL, DANIEL, GRENOBLE, FR;DUTARTRE, DIDIER, MEYLAN, FR 发明人 HAOND, MICHEL;COLINGE, JEAN-PIERRE, MEYLAN, FR;BENSAHEL, DANIEL, GRENOBLE, FR;DUTARTRE, DIDIER, MEYLAN, FR
分类号 H01L21/20;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/76;H01L21/324 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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