发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH02229791(A) 申请公布日期 1990.09.12
申请号 JP19890051563 申请日期 1989.03.03
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 ONOZUKA YUKIHIRO;KIJIMA TAKASHI;KIKUTA TOSHIO
分类号 C30B27/02;H01L21/208 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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