发明名称 |
PIEZOELECTRIC CRYSTALLINE FILMS |
摘要 |
<p>Piezoelectric crystalline films which consist essentially of a crystalline zinc oxide film with a c-axis perpendicular to a substrate surface containing 0.01 to 20.0 atomic percent of manganese with or without 0.01 to 20.0 atomic percent of copper.</p> |
申请公布号 |
GB1582317(A) |
申请公布日期 |
1981.01.07 |
申请号 |
GB19780002870 |
申请日期 |
1978.01.24 |
申请人 |
MURATA MFG CO LTD |
发明人 |
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分类号 |
H01L41/18;(IPC1-7):01L41/18 |
主分类号 |
H01L41/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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