| 发明名称 |
Method and device for interferometric measurement. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0021148(A1) |
申请公布日期 |
1981.01.07 |
| 申请号 |
EP19800103087 |
申请日期 |
1980.06.03 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
MAKOSCH, GUENTER |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B9/02;G01B11/22;G01B11/30;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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