发明名称 VERFAHREN ZUM PLASMA-AETZEN VON METALLISCHEN WERKSTOFFEN, DIE UEBLICHERWEISE NIEDRIG FLUECHTIGE CHLORIDE BILDEN.
摘要
申请公布号 DE3866659(D1) 申请公布日期 1992.01.16
申请号 DE19883866659 申请日期 1988.09.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BAUSMITH, ROBERT CROWELL, GLASTONBURY CONN. 06 033, US;COTE, WILLIAM JOSEPH, ESSEX JUNCTION VERMONT 05 452, US;CRONIN, JOHN EDWARD, MILTON VERMONT 05 468, US;HOLLAND, KAREY LYNN, ESSEX VERMONT 05 451, US;KAANTA, CARTER WELLING, COLCHESTER VERMONT 05 446, US;LEE, PEI-ING PAUL;WRIGHT, TERRANCE MONTE, WILLISTON VERMONT 05 495, US
分类号 C23F4/00;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F4/00;H01L21/31 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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