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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERLASERS.
摘要
申请公布号
DE3485368(D1)
申请公布日期
1992.01.30
申请号
DE19843485368
申请日期
1984.10.25
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
NAGASAKA, HIROKO C/O PATENT DIVISION;MOTEGI, NAWOTO C/O PATENT DIVISION;TAMURA, HIDEO C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306;H01L33/00
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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