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发明名称 Electro-static chuck
摘要
申请公布号 GB2050064(A) 申请公布日期 1980.12.31
申请号 GB19800013726 申请日期 1980.04.25
申请人 ZEISS JENA VEB CARL 发明人
分类号 B23Q3/15;B25B11/00;H01L21/673;H01L21/683;(IPC1-7):H02N13/00 主分类号 B23Q3/15
代理机构 代理人
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