发明名称
摘要
申请公布号 JPS5551878(B2) 申请公布日期 1980.12.26
申请号 JP19730008441 申请日期 1973.01.19
申请人 发明人
分类号 C30B25/14;B01J12/02;C23C14/00;C23C14/24;H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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