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发明名称 VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS55167199(A) 申请公布日期 1980.12.26
申请号 JP19790075847 申请日期 1979.06.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAHASHI KAZUHISA
分类号 C30B25/14;B01J4/00;C30B25/02;C30B29/40;H01L21/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
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