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发明名称
摘要
申请公布号
JPS55180758(U)
申请公布日期
1980.12.25
申请号
JP19790080489U
申请日期
1979.06.12
申请人
发明人
分类号
H01J9/22;C23C14/54;H01J9/20;(IPC1-7):C23C13/08
主分类号
H01J9/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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