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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5551333(B2)
申请公布日期
1980.12.23
申请号
JP19770044271
申请日期
1977.04.18
申请人
发明人
分类号
C30B25/12;H01L21/205;H01L21/68
主分类号
C30B25/12
代理机构
代理人
主权项
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