发明名称 PHOTOELECTRIC METHOD OF TESTING SEMICONDUCTOR PARAMETERS
摘要
申请公布号 SU790040(A1) 申请公布日期 1980.12.23
申请号 SU19792811017 申请日期 1979.08.24
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM. A.F.IOFFE AN SSSR;LE POLT I IM. M.I. KALININA 发明人 BYVALYJ VALENTIN A,SU;GOLDBERG YURIJ A,SU;VOLKOV ALEKSANDR S,SU;DMITRIEV ALEKSANDR G,SU
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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