发明名称 MIRROR SURFACE CHECK UNIT
摘要
申请公布号 JPS55164304(A) 申请公布日期 1980.12.22
申请号 JP19790072289 申请日期 1979.06.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 KANAI AKIRA;TOCHIKUBO HIROO
分类号 G01N21/88;G01B11/30;G01N21/956 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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